十三五國家02科技重大專項

“集成電路靶材用超高純金屬材料產業化技術”項目，列入國家科技部極大規模集成電路配套設備與工藝重大專項（02重大專項）。

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十三五國家02科技重大專項 “20-14nm先導產品工藝開發”項目

十三五國家02科技重大專項“20-14nm先導產品工藝開發”項目，列入國家科技部極大規模集成電路配套設備與工藝重大專項（02重大專項）。

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國家戰略性新興產業發展專項資金計劃

“年產1萬個高線代平板顯示器及先進封裝用靶材產業化”項目，列入國家戰略性新興產業發展專項資金計劃。

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國家電子信息產業發展基金項目

“超大規模集成電路PVD工藝制造用鋁和鉭濺射靶材的產業化”項目，列入國家工信部電子信息產業發展基金項目。 

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十一五國家02科技重大專項

“300mm極大規模集成電路用Al、Ti、Ta 靶材制造技術研究與開發”項目，列入十一五國家科技部極大規模集成電路配套設備與工藝重大專項（02重大專項..

更多 2020-03-10