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十三五國家02科技重大專項 “20-14nm先導產品工藝開發”項目
十三五國家02科技重大專項“20-14nm先導產品工藝開發”項目,列入國家科技部極大規模集成電路配套設備與工藝重大專項(02重大專項)。
更多 2021-02-27
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十一五國家02科技重大專項
“300mm極大規模集成電路用Al、Ti、Ta 靶材制造技術研究與開發”項目,列入十一五國家科技部極大規模集成電路配套設備與工藝重大專項(02重大專項..
更多 2020-03-10