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靶材的清洗包裝技術 2015-02-05     總瀏覽:14378

下游客戶的生產環境、濺射反應機臺腔體對濺射靶材的潔凈程度要求很高,公司運用自主設計的靶材全自動清洗機進行反復的產品清洗,在真空環境下使產品干燥,用于生產半導體芯片的濺射靶材表面潔凈度能夠達到電子級水平。




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